三維表面形貌儀 采用了**光學系統,可通過非破壞觀察法生產高畫質的圖像并進行**的3D測量,可以滿足不同樣品的觀測需求
NanoFocus2000三維表面測量儀光學輪廓儀/三維表面形貌儀/三維表面輪廓儀(納米級)是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備
采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術，實現對樣品表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于半導體工藝、航空航天、太陽能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領域。
三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 產品特點：
測量精度重復性達到世界較高水平
關鍵硬件采用美國、德國、日本等
配備進口第三方校準標準件
高性價比微觀形貌測量設備
迅捷、高效的上等售后服務
覆蓋范圍廣
兼容多種測量和觀察需求
保護性
非接觸式光學干涉測量
可操作性
“一鍵式”操作更簡單、高效
智能化
特殊形狀智能計算特征參數
個性化
定制化測試報告
NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統、光學干涉成像系統、實現移相運動的微位移系統、圖像采集系統及圖像數據處理系統等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件，同時通過傾斜和XY二維平移調整使被測面**定位于感興趣的區域；光源及照明系統提供給被測面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統采用Mirau干涉物鏡結構獲取被測表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實現微位移控制；通過CCD與自主開發的軟件系統采集并處理干涉圖像，獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。
應用領域：半導體工藝、MEMS器件表征、精密機械加工、LED、太陽能、生物醫學等。
三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 主要指標：
? CCD分辨率：像素1280x960
? 測試模式：PSI + VSI 檢測模式
? 縱向分辨率：＜0.1nm
? RMS重復性：＜0.01nm，1σ
? 臺階測量：準確度≤0.75％
? 臺階高重復性≤0.1％，1σ
? 高清晰無限遠成像系統，白光高效LED,光譜濾光
? Nikon干涉物鏡配置2.5x，5x，10x，20x，50x
? 200mm手動樣品臺 （XY高精度）+ 傾斜±6°
三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 分析及控制軟件：
? 三維分析處理迅速，結果實時更新
? 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像顯示
? 自主設定測量閾值，三維處理自動標注
? 測量模式可根據需求自由切換
? 可創建簡單工作流程，簡化重復工作
? 三維圖像支持高清打印
? 可進行軟件在線升級和遠程支持服務
